特种气体是工业气体中的一个新兴门类，是随着近年来国防工业、科学研究、自动化技术、精密检测，特别是微电子技术的发展而发展起来的，也是我司核心发展方向之一。
近年来，随着下游应用领域的逐步扩展，特种气体的品种也与日俱增，据不完全统计，现有单元特种气体达 260 余种，特种气体已成为高科技应用领域不可缺少的基本原材料。特种气体从应用领域上分为：电子气体、高纯气体、 标准气体。
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名称 |
主要品种 |
发展情况 |
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电子气体 |
1、氢化物：超纯氨、硅烷、磷烷、砷烷、氢化锑 2、氟化物：六氟化硫、三氟化氮、三氟化硼、五氟化磷、四氟化硅 3、碳氟化合物：四氟化碳、六氟乙烷等 |
电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等工业生产不可缺少的基础性材料，广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。
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高纯气体 |
N2、 O2、 H2、 He、 Ar、CO2 等，纯度 5N（99.999%） |
高纯气体大多用于超大规模集成电路及分离器件、光电子等高科技领域。
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标准气体 |
1、单元标准气体 2、多元标准气体：由两种或两种以上组分气配制而成 |
1、标准气体是计量的基准物质，准确、均匀、稳定可靠是重要特征，具有建立测量的溯源性，保证测量结果准确一致，以及促进测量技术和质量监督工作发展的作用。 2、标准气基本满足了我国石油、化工、环保、传感器校核等诸多领域的需求。 |